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在微电子领域，Aquafine 的紫外线系统提供了一种去除超纯水中痕量有机物和微生物污染的增强、协同方法。

我们认识到在微电子生产用水系统的设计和建造中面临着很多的挑战。熟知纯水系统的所有组件如何相互关联可确保最优性能。

我们的紫外线系统通常执行与微电子所用超纯水相关的以下功能：微生物消毒、去除 TOC、臭氧消解以及去氯和氯胺消解。

正因如此，全球范围内越来越多的制造商信赖 Aquafine 提供的紫外线系统、应用协助和支持。

微电子资源

Aquafine 微电子紫外线系统

专用于微电子的紫外线应用

  • 去除 TOC——紫外线 (UV) 系统可用于有效去除通常被称为 TOC（总有机碳）的有机物。通过并入一套具有适当设计及选型的 185nm 紫外线系统，并策略性地将其与其他设备相结合排布，从而实现 TOC 去除。
  • 消毒——紫外光在水处理中最常见的应用。微电子用水系统中典型的安装位置可能是碳过滤器之后、RO（反渗透）之前和之后。
  • 臭氧消解——臭氧通常用于供水系统的预处理区域和消毒处理以及再循环系统。
  • 去氯/氯胺消解——尽管向城市用水中添加氯和氯胺可控制细菌水平，但是它们会对过滤或RO膜的除垢造成不良影响。紫外线可在去氯的同时解决这些问题，其采用更小的占地面积并可缩减维护成本。

典型的微电子行业紫外线装置示意图

 

Aquafine 微电子行业示意图